在全球半导体技术竞赛持续升温的当下，核心零部件的自主可控已成为半导体产业安全与韧性的重要标志。深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（以下简称"恒运昌"）以深厚的技术积累和持续创新能力，在"等离子体射频电源系统"这一长期被海外企业垄断的关键领域实现了重大突破，成为我国半导体设备核心部件国产化的中坚力量。据悉，恒运昌即将于11月14日迎来科创板上市委审议，这家诞生于深圳的科创企业，正以实际行动推动中国半导体产业链从“补短板”向“锻长板”迈进。
打破垄断格局，确立国产核心领先地位
等离子射频电源系统是半导体制造的“心脏”，在薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等多个核心工艺中发挥决定性作用。其性能优劣直接决定芯片的制程精度、产品良率与产线稳定性。长期以来，该领域由MKS和AE等海外巨头垄断。根据弗若斯特沙利文统计，截至2024年，中国大陆等离子射频电源系统国产化率不足12%。
恒运昌自成立以来，始终专注于等离子体技术的研究与应用，经过十余年持续攻关，已成功推出三代自研产品：CSL系列、Bestda系列与Aspen系列。其中Bestda系列支持28纳米制程，Aspen系列覆盖7—14纳米先进制程，核心指标达到国际先进水平，填补国内空白。
凭借性能稳定、兼容性强、功率输出精确等优势，公司已实现批量交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内龙头半导体设备商，，并配套进入中芯国际等晶圆厂产线。目前，恒运昌成为中国大陆首家出货超亿元、首家实现先进制程等离子射频电源系统（支持半导体先进制程）量产的国产厂商，在国产市场份额中稳居第一。
形成技术突破，构筑半导体产业安全底座
在半导体制造产业链中，等离子射频电源的安全与稳定是芯片制造系统能否稳定运行的关键。恒运昌不仅实现了关键部件的国产化替代，还具备了对进口设备的原位替换、维修与升级能力。
恒运昌通过技术攻关，解决了射频功率控制、阻抗匹配、高频信号干扰抑制等关键难题，使产品在连续运行稳定性、能量精度控制、负载适应性等方面达到国际水准。其量产产品在晶圆制造的PECVD、ALD、刻蚀、清洗等多类设备中实现应用，为国产设备提供了高可靠的核心电源保障。
如今，恒运昌的产品正批量交付国内多家新建晶圆厂，为设备商和晶圆厂提供持续、安全的核心供应能力。这不仅强化了国产设备的供应链安全，也成为我国半导体产业链自主可控体系的重要支撑。
正如公司董事长乐卫平所言：“恒运昌希望成为国家半导体设备安全的守护者，用持续创新的力量，守住产业链的底线，托起中国‘芯’的未来。”
创新驱动发展，助力先进制程国产可控
恒运昌的核心竞争力，深挖其技术护城河，可以发现其优势来自于持续不断的技术创新与体系化建设。具体而言，恒运昌累计获得授权发明专利108项、在申发明专利133项，承担了多项国家科技重大专项课题，涵盖先进制程设备核心电源系统研发、可靠性验证及产业化应用等领域。
2025年上半年及2024年，恒运昌自研产品收入占比均超过84%，其中等离子体射频电源系统收入占比超过七成。2022至2024年，公司的营业收入从1.58亿元提升至5.41亿元，复合增长率超过80%；净利润从0.26亿元跃升至1.42亿元，盈利能力稳步提升。持续高投入的研发，也让恒运昌在高频功率控制、智能化算法、模块化设计等关键方向不断实现新突破，奠定了在先进制程装备国产化中的核心地位。
除半导体领域外，恒运昌还积极拓展光伏、显示面板、精密光学镀膜等新兴应用市场，推动等离子技术的多领域产业化落地，打造“从芯片到材料”的多元创新生态。
强化产业布局，夯实科技创新与规模化能力
招股书显示，本次IPO募集资金拟投资建设“沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目”“半导体与真空装备核心零部件智能化运营基地项目”“研发与前沿技术创新中心”等，全面提升生产自动化水平、工艺一致性和客户响应能力。
这些项目的落地，将显著增强恒运昌在半导体设备核心部件领域的产能供给与创新能力，为未来国产设备的持续扩产提供支撑。恒运昌将形成以“深圳+沈阳”双基地布局为中心，构建覆盖研发、制造、服务的全国化产业网络，形成更具国际竞争力的供应体系。
从技术攻关到规模量产，从“进口替代”到“创新引领”，恒运昌以坚实步伐诠释了中国半导体装备行业的自主崛起之路。在“等离子射频电源系统”这一关键领域实现技术突围，不仅代表企业自身的跨越，更意味着中国半导体设备产业链安全迈向更高层级。恒运昌将继续以“突破先进制程、保障产业安全”为使命，持续投入创新、扩展产业协同，成为半导体设备国产化的重要引擎，为中国“芯”的强大提供坚实支撑。
