上海证券交易所上市审核委员会定于2025年11月14日召开2025年第54次上市审核委员会审议会议，届时将审议深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（以下简称“恒运昌”）的首发事项，恒运昌成为2025年第二批被抽中现场检查企业中的首家上会企业。作为国内等离子体射频电源系统领域的领军企业，恒运昌凭借持续的技术攻坚与产品迭代，成功打破国际巨头在高端射频电源领域的长期技术壁垒，成为国内极少数实现产品性能、功能指标与国际对标产品同步的企业。其核心产品不仅填补了国内技术空白，更深度契合国家产业链供应链安全战略，而募投项目的推进将进一步夯实产能与技术优势，推动企业向跨领域高端制造延伸。
对标MKS、AE等国际巨头、产品性能与功能指标实现同步
在全球等离子体射频电源市场，MKS、AE等企业凭借数十年技术积累，长期占据高端产品主导地位，其产品在功率稳定性、频率控制精度、制程适配性等核心指标上形成行业标杆。恒运昌通过十余年研发迭代，已实现对上述国际巨头核心产品的精准对标，成为国内极少数达成这一突破的企业。
公司产品技术先进性获得了业界巨头的认可，已批量供货拓荆科技、中微公司、北方华创等国内头部半导体设备商，关键技术参数已达到国际同类产品水平，产品总体性能达到国际同类产品水平，符合下游晶圆厂对设备零部件“精确复制”的核心要求。
契合产业链安全战略、技术突围填补国内空白
长期以来，国内半导体设备核心零部件依赖进口，等离子体射频电源作为刻蚀、薄膜沉积等关键设备的“能量核心”，更是被列为产业链“自主可控”重点突破的环节。恒运昌的技术突围，不仅打破了国际巨头的垄断，更直接契合国家“保障产业链供应链安全”的战略方向，成功填补国内高端射频电源的量产空白。
在技术突破前，国内半导体设备商采购国际巨头射频电源面临几大痛点：一是交付周期长，难以匹配国内晶圆厂产能扩张节奏；二是定制化响应慢，针对国内设备商的工艺需求，国际企业定制开发周期较长；三是维修服务受限，核心技术封锁导致故障维修需依赖海外团队，响应时间较长。而恒运昌的出现有效破解了这些痛点，其产品能够缩短交付周期，快速响应定制化需求，更凭借自主技术实现本土高效维修，切实缓解了国内产业链的供应难题。历经十余年研发积累，公司以技术发展与行业需求为双导向，构建基石技术及产品化支撑技术体系：3大底层通用基石技术覆盖测量、控制、架构，8 大产品化支撑技术结合半导体精准稳定应用需求，突破高端等离子体射频电源设计、测量、控制难题，掌握信号采样、相位锁定等关键技术。报告期内承担 3 项国家级重大专项，截至期末获 108 项发明专利授权、133 项发明专利在申请，为产品迭代奠定充足技术储备。
目前，恒运昌产品已进入中芯国际等头部晶圆厂的供应链体系，替代部分进口产品，有效缩短下游设备商的采购周期，缩短维修响应时间，显著提升国内半导体产业链的供应链韧性，成为国家 “半导体自主可控” 战略的重要支撑力量。
募投项目发力、产能与技术双升级拓展跨领域市场
为进一步巩固技术优势、扩大市场覆盖，恒运昌此次科创板上市募投项目聚焦“产能扩张”与“技术迭代”双核心，计划投入资金用于“沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目”“半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目”“研发与前沿技术创新中心建设项目”，同时推动产品向光伏、显示面板、精密光学等领域延伸。
“沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目”位于辽宁省沈阳市，以公司现有产品和技术为依托，在沈阳设立子公司并作为北方根据地，主要开展半导体级等离子体射频电源系统产品的生产和销售，统筹区域内优势资源，健全总部与子公司之间的分工合作机制。项目在建设完成后，将进一步提升半导体级等离子体射频电源系统的生产能力，扩展公司在华北、东北区域的业务服务范围，同时增加该区域客户的覆盖深度。“半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目”位于深圳市，系在等离子体射频电源系统等现有产品和核心技术的基础上，进一步丰富和拓展低频大功率等离子体射频电源、PVD 直流溅射电源、远程等离子体源等产品，拓展光伏、显示面板、精密光学等领域的客户。同时，也将对现有产品的频率、功率覆盖范围进一步升级。此次募投项目的落地，恒运昌将通过产能扩张助力国产替代，并通过技术迭代打开跨领域增长空间，为企业长期发展奠定坚实基础。
在高端等离子体射频电源领域，恒运昌率先实现关键突破，其产品性能与功能指标同步国际水平，打破了国外品牌长期垄断的格局，为国产替代提供了“硬实力”支撑。从产业链价值来看，公司更精准契合国家保障产业链供应链安全的战略方向，通过十余年技术攻坚填补国内高端射频电源量产空白，有效解决了行业痛点问题，成为推动半导体产业链自主可控的核心力量。而此次募投项目是恒运昌高质量发展新周期的关键，智能产线破解产能瓶颈，研发中心加速技术迭代，产品延伸至光伏、显示面板等领域，实现产能与技术双重升级。
